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在操控過程中，由測厚探頭檢測到薄膜厚薄信號傳送到計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)把厚薄信號與當(dāng)時(shí)設(shè)定均勻厚度進(jìn)行對照，根據(jù)厚薄誤差量以及曲線變化趨勢進(jìn)行運(yùn)算，操控電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥門移動(dòng)，當(dāng)薄膜偏厚時(shí)，電機(jī)正向移動(dòng)，風(fēng)口關(guān)小；相反，電機(jī)反向移動(dòng)，風(fēng)口增大，通過改動(dòng)風(fēng)環(huán)圓周上…